服务案例

（一）内容介绍

本虚拟仿真实验分为3个模块，模块1，光刻；模块2，制作PDMS粘度计；模块3，用PDMS粘度计测牛顿流体的粘度。

模块1，光刻

（1）选择光刻胶

不同种类的光刻胶具有不同的粘度，导致不同的旋涂层厚度。

（2）曝光-选择光掩模放入紫外曝光机

模块2，制作PDMS粘度计

（1）等离子体表面处理

模块3，用PDMS粘度计测牛顿流体的粘度

（二）动画

（1）光刻流程

光刻是用照相复印的方法将掩模版上的图案转移至硅片表面的光刻胶上的精密表面加工技术。

（2）等离子体表面处理原理

（3）PDMS泵原理

（三）实验的特色和亮点

微流控器件的设计与制作是新兴前沿领域，在快速检测和仿真器官等领域有重要应用前景，是交叉学科建设和激发学生创造性思维的很好实践。该实验需要大面积场地、暗室和无尘实验环境、操作步骤复杂、实验设备价格昂贵、需要用到紫外光和人类血浆样品等，整个实验过程的不可控因素过多，不适合开展大规模实验教学。

因此，设计虚拟仿真实验，使微流控前沿交叉技术不再受时间、空间和经济成本的限制，可以在本科生中大规模开展。在一定程度上弥补不能操作真实实验的缺憾。使学生学习光刻和软光刻原理和技术；学习如何调节参数和优化实验流程；学习光学显微镜、匀胶旋涂、紫外曝光机、等离子体清洗机等仪器和 AutoCAD、FreeHand、Image J 等软件的操作。