集成电路制造

　　本实验项目采用3D建模，依据真实实验场景，使用Maya和3DMax软件进行整体实验室(环境、设备)建模。数值仿真计算结果与实际实验结果误差不超过1%。

　　本实验涉及到的知识点共3个，包括：

　　(1)磁化过程各阶段变化及磁化机制;

　　(2)反磁化过程与磁滞机制;

　　(3)磁化强度温度特性及与材料结构的关联性。

　　“强磁性物质对外加磁场响应行为的测试分析”实验主要包括三个部分：一是实验预习与测试;二是进入虚拟实验室，完成“磁化曲线测试分析”、“磁滞回线测试分析”和“居里温度测试分析”各环节虚拟仿真实验项目;三是实体实验室完成强磁性物质技术磁化特性测试设计与实施。

　　1. 实验预习与测试

　　(1)自主预习，了解VSM等设备工作原理，熟悉设备操作

　　(2)完成预习测试

　　2. 进入虚拟实验室，完成各环节虚拟实验项目。

　　模块一、磁化曲线测试分析

　　通过本环节实验，测试不同软、硬磁材料的磁化曲线，学会饱和磁化强度Ms、磁晶各向异性常数K1、各向异性场Ha的测试原理与方法(图6);熟悉技术磁化的基本理论，理解在外场作用下强磁性物质内部磁畴运动变化的规律，加深对磁化过程中磁化机制的理解。

　　模块二、磁滞回线测试分析

　　通过本环节实验，测试不同软、硬磁材料的磁滞回线，确定各类材料的基本参数(4πMs，Hc, Mr等);改变磁场条件，观察磁滞回线的变化，分析不同材料磁滞回线的差异(图7)。学生还可以选取不同结构与制备工艺的样品，进一步探究显微结构、制备工艺与材料物性参数之间的关系，加深对反磁化过程中磁化机制的理解。

　　模块三、居里温度测试分析

　　可以在本实验环节选择不同成分材料测试其Ms-T曲线，计算相应材料的居里温度，对照材料结构分析居里温度变化的机理 (图8)。